日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体(ti)以(yi)及(ji)对管(guan)路洁(jie)净度高要求场合

日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器

性能参数：

测量范围(N2)	1SCCM-20SLPM
精密度	±1.0%FS
重叠性	±0.2%FS
异常时长	1秒内
耐压性	1.0Mpa
美国进口大压为	O.3Mpa
运作压力	0.05-0.3Mpa
漏洞率	1*10-11pa·m³/s下
内镜面抛光	Ra≤0.1
工作温度面积	5-45℃
干湿度范围图	10-90%RH(不可以结霜)
木头材质	内在SUS316L
	隔绝圈SUS316L、PTFE
电力设备界面	DB9
摸拟表现	0-5V读取/输出的
供电系统	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
压缩空气管道无线连接	配值1/4UJR
	选择1/8UJR
总重量	约1000g

★施用还要注意一：进气管材上改进措施利用上的油烟净化器器、水和油溶合器利用，做到其他气体的常温、干燥洁净《水分子含量不达到90%(固定不要进水量)、钙镁离子尘土不达到20μm》。二：用洗衣粉水对线路完成泄露检验时，只会将洗衣粉水喷涂在线路直接头上，不可能喷在仪表盘或电气设备电源插头上。三：安转前，请将设配管线来建筑体吹扫。四：耐冲击1.0Mpa，进口的大的压力5斤。五：需要进行0点漂移归零的过程中，核验进/用于出口没联通流量没负压下再基本操作。

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