示值(N2)	10SCCM-20SLPM(单独50SLM
的精密度	±1.0%FS
多个性	±0.2%FS
回复时间段	1秒球以内
耐冲击	1.0Mpa
进口量大经济压力	O.3Mpa
过程气体压力	0.05-0.3Mpa
泄露率	1*10-11pa·m³/s以下的
溫度位置	5-45℃
对环境湿度的的范围	10-90%RH(未能冷凝水)
金属材质	本体论SUS316L
	密封垫圈SUS316L、PTFE
电子商务音频接口	DB9
仿真数字信号	0-5V进入/读取
用电	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管道阀门连接方式	标准配置1/4UJR
	选择装配1/8UJR
总重	约1000g

★选用特别注意一：进气排水管道上意见的安装上的脱水器、灰色收入分离法器运用，确保气味的干燥处理纯净（温度湿度不不低于了90%(一些不允许漏液)、残渣焊接烟尘不不低于了20廊坊可耐电器有限公司）。二：用洗衣粉水对管线使用透漏检查测量时，需要将洗衣粉水喷洒功能在管线线接头上，不要喷在电子仪表或电力电源线插头上。三：施工前，请将机器滤油器开展纵向吹扫。四：耐冲击1.0Mpa，原产大学习压力5斤重。五：还要对其进行亮点漂移重置的的时候，确保进/进口商没总流量没气压下再作业。

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概括说明：日本科赋乐金属密封式质量流量控制器使用时进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净（湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米）。

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