微量气体流量计

微量气体流量计为实验室研发及精密制造设计。该系列产品采用层流压差技术，具备高的测量精度与灵敏度，能够精准捕捉微小流量的变化。  

其核心优势在于毫秒级的响应速度和宽量程比，支持质量流量、体积流量及压力的多参数实时显示。设备通常配备彩色触摸屏，操作直观，且支持多种通讯接口，便于集成到自动化系统中。凭借无移动部件的坚固设计，该流量计在半导体、真空镀膜等领域表现良好，是微量气体控制与监测的理想选择。

概述：

应该用(yong)于多家OEM装置施工地点(dian)，尤(you)为适细微用(yong)户预估

适宜于然气(qi)低压低力、漏粪检验(yan)的低手机流量、半导体器件等应用

±15VDC共电(dian)机械性能(neng)安全稳定，0-5V养成讯(xun)🥀号(hao)更好适用

可(ke)环保定制家具0.02-1SCCM细小访问量

特点：

• 配齐的温度监测式直流电差检侧型流量的传传感器原理器，满足高精确度，高速公路崩溃
• F.S.1 SCCM微流量数据帮助（SR按钮）

 尺寸图：

使用注意事项：

一(yi)：进(jin)气输送(song)管道上(shang)可以安装运(yun)用(yong)上(shang)的(de)滤(lv)出器(qi)、水油分离出来(lai)器(qi)运(yun)用(yong)，以确保有毒气体的(dജe)常温、干(gan)燥洁净《环境湿度不高于90%(一(yi)定程(cheng𒅌)度不入(ru)水)、钙镁离子(zi)粉(fen)层不高于20μm》。

二：用肥皂粉(fen)粉(fen)水对滤(lv)(lv)油器开始流出检🌃验时(shi)，只能够将(jiang)肥皂粉(fen)粉(fen)水喷洒功(gong)能在(zai)滤(lv)(lv)油器线(xian)(xian)接头(tou)上(shang)，没(mei)能喷在(zai)仪器或电力设(she)备电源线(xian)(xian)插头ꦚ(tou)上(shang)。

三(san)：重新安装(zhuang)前，请将机器管线对其进行整(zheng)个(ge)吹(chui)🥃扫。

四：耐压试(shi)验(yan)1.0Mpa，进口的大的压力5kg。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
 

微量气体流量计

性能参数： 

电器连接：